Невралгия поясници лечебная физкультура

Курорты где лечат грыжу позвоночника

Автор: Orbita2010

Распознанный текст

Оп ИСАКИИ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскик
Социапистичесиин
Респубиии
(61) Дополнительное к авт, свид-ву(22)Заявлено27, 05, 80 (21) 293109518-24
с присоединением заявки М
(23) Приоритет—
Гааударатвпаанй квинтет
аа делан изебретеннй
и отнрнткй

Опубликовано 15. 01, 82, Бюллетень М 2
Дата опубликования описания 15, 01, 82
П, Г, Васипенко иП. П. Мягконосов
(72) Авторы изобретения
(73) Заявитель
(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТРАФАРЕТА ДЛЯ ОРИЕНТА11ИИ
ФЕРРИТОВЫХ СЕРДЕЧНИКОВ

Изобретение относится к вычислитель-1 ной технике, в частности к изготовпению устройств дпя формирования матриц из ферритовых сердечников.
Известен способ изготовпения трафаретов ориентации ферритовых сердечниковзаключающийся в том, что на ппастине иэ светочувствитепьного стекпа формируют контактную маску нз фоторезиста, в которой вскрыты сквозные окна” в местах распопожения ориентируюших отверстий
1О будущего трафарета. Ппастину экспонируют в потоке интенсивного упьтрафиопетового излучения, При этом в резупьтате
взаимодействия иэпучения с материалом
пластины в объеме ппастины под сквозными окнами” контактной фотореэистив
ной маски возникают центры кристаппизации. Путем поспедуюшей термообработки при 500-600 С в течение 1, 5-2 ч
в экспонированных объемах ппастины формируется кристаппизованная фаза стекла.
В неэкспонированных объемах кристап«
пизованная фаза отсутствует. При последуюшем травпении термообработанной пластины в 10-15-ном растворе ппавиковой
кислоты в течение 20-50 мин формируют
сквозные отверстия постоянного сечения
по высоте пластины, используя разницу
скоростей травления экспонированных и
неэкспонированных объемов ппастины из
светочувствительного стекпа 11Недостатком известного способа явля
ется невысокая механическая прочность
изготавливаемых с его помошью трафарет
тов с высокой плотностью расположения
ориентирующих отверстий иэ-за того, что
ширина перемычек между соседними отвер.
стиями трафарета остается постоянной по
топшнне ппастины, Кроме того, способ
требует проведения операций по созданию
и удалению контактной фоторезистивной
маски, что успожняет технопогический
процесс изготовления трафаретаНаиболее бпизким техническим решением к изобретению является способ иэго
товпения трафарета дпя ориентации фе1ритовых сердечников, заключающийся в том,

что пластину из светочувствитепьцого материала, например светочувствительногоо стекла, экспонируют с обеих сторон в потоке ультрафиолетового света через предварительно совмещенные фотощаблоны пазов, предназначенных для ориентации ферритовых сердечников и каналов вакуумной фиксации, расположенных в центрах пазов и соединяющих полости пазов с противоположной стороной пластины, Со й отношение экспозиций через фотощабпон пазов и каналов выбирают таким образом, чтобы после операции проявления термообработкой при травлении пластины в 10-15-ном растворе плавиковой кислоты пазы для ориентации сердечников и каналы для вакуумной фиксации формировались одновременно 23.
Недостатком известного способа является возможность разрушения тонких перемычек между соседними ориентируюшими отверстиями при рассовмещении ри, сунка каналов и пазов, что снижает долговечностьь трафарета.
Бель изобретения — упрощение техноло-д гическаго процесса изготовления и повышения надежности изготовления трафаретаПоставленная цепь достигается тем, что согласно способу изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечИ, ников, заключающегося в экспонировании пластины из светочувствительного стекла через фотошаблон с прозрачными участками с образованием в пластине областей кристаллизации, проявлении экспонирован35 ного изображения термообработкой и травпении пазов и каналов в пластине из светочувствительного стекла, при экспонировании пластины из светочувствительного стекла в ней образуют области кристаллизации различной плотности.
На фиг. 1 изображен фотошаблон 1, представляющий собой стеклянную пластину прозрачную для ультрафиолетового света, на поверхности которой фотолитографией сформированы расположенные в мат4 ричном порядке прозрачные области 2, окруженные частично прозрачными дпя ультрафиолетового света областями 3, разделенными полностью непрозрачными для ультрафиолетового света областями 4, фО
На фиг. 2 изображена схема экспонирования пластины 5 из светочувствительного стекла через фотошаблон 1
На фиг. 3 — экспонированная пластифф на 5 после операции термообработки. Обпасти 6 имеют большую степень кристаллизации по сравнению с областями 7.
На фцг. 4 изображено сечение фрагмента трафарета, содержащего пазы 8
для сердечников, кацапы 9, вакуумной
фиксациифотошаблон 1, представляющий собой
стацдартцую плоскопараллепьную стеклянную пластину, на поверхности которой фотолитографическим способом сформирована матричная система прозрачных областей 2, окруженных частично прозрачными
для ультрафиолетового света областями
3, разделенных полностью непрозрачными областями 4 (фиг. 1 ), устанавливают
над пластной 5 (фиг, 2 ) из светочувствительного стекла и экспонируют ее с
одной стороны через фотошаблон 1.
В результате облучения пластины ульттрафиолетовым светом происходит образование центров кристаллизации в гех
ее областях, которые расположены под
участками 2 и 3 фотошаблона, В областях пластины, расположенных под непрозрачными участками 4 фотощаблона, центры кристаллизации не образуются, Плотность центров кристаллизации пропорциональна экспозиции пластины и в областях
пластины, расположенных под прозрачными участками 2 фотошаблона 1, пре1
вышает экспозицию пластины в областяхрасположенных под частично прозрачными
для ультрафиолетового света областями
3 фотошаблона. Далее проявляют экспонированное изображение путем высокотемпературной обработки пластины при 500600 С в течение 1, 5-2 ч. При этом происходит образование кристаллизованной
фазы вокруг центров кристаллизации.
Степень кристаллизации пластины определяется плотностью центров кристаллизации и в областях 6 пластины 5 (фиг, 3 )
она выше, чем в областях 7.
Поскольку скорость травления экспонированной и термообработанной пластины находится в прямой зависимости от
степени кристаллизации, то при последующей обработке пластины в 10-15-ном
растворе плавиковой кислоты скорость
вытравливания пластины в областях 6 выше, чем в областях 7 в 5-20 раз в зависимости от степени прозрачности областей 3 фотошаблона, соответствующих пазам будущего трафарета. Поэтому сквозные каналы 9 и ориентирующие пазы 8
формируются при травлении пластины одновременно,
Предложенный способ позволяет создавать трафареты в более толстой пластине светочувствительного стекла, чем

обеспечивается высокая механическая прочность трафаретаПри этом не требуется проведения операции двустороннего совмещения фотошабпонов пазов и каналов, При совмещении из-за влияния толщины пластины светочувствительного стекла неизбежны погрешности совмешения, в результате чего при плотной упаковке пазов и каналов возможны смешения прозрачных областей 10 кацапов на непрозрачные обпасти перемычек и их разрушение в процессе травления.
Кроме того, предложенный способ позвопяет создавать в пластине из светочув5 ствнтепьного стекпа, твердость и прозрачность которого сравнима с твердостью феррита, лазы, профиль которых повтояет форму копьцевых ферритовых сердечников. Дпя этого достаточно использовать при 20 экспонировании фотошабпон, у которого от границы прозрачной области, соответствующей каналу, к границе полностью непрозрачной области, соответствующей перемычке, по. плошади каждого паза оп23 тическая плотность меняется ступенчато
с требуемой дискретностью или меняется
по квадратичной зависимости
ф орму па изобретения
Способ изготовпения трафарета дпя
ориентации ферритовых сердечников, закпючаюшийся в экспонировании пластины
из светочувствительного стекла через фо
тошабпон с прозрачными участками с образованием в пластине областей кристаллизации, проявпении экспонированного.
изображения термообработкой и травпении
пазов и каналов в пластине, о т и и ч а
ю ш и й с я тем, что, с цепью упрощения технопогического процесса изготов
пения и повышения надежности изготовления трафарета, при экспонировании ппас
тины из светочувствительного стекла в
ней образуют области кристаллизации раз.
пичной плотности.
Ис1очники информациипринятые во внимание при экспертизе
1. Авторское свидетельство СССР
702409, кп, З 11 (Э 502, 19782, Авторское свидетельство СССР по
заявке 274470918-24кп. Я 11 С 502, 1979 (прототип)

ВНИИПИ Заказ 1 195869 Тираж 623 Подписное Филиал ППП “Патент”, г. Ужгород. ул. Проектная, 4

Источник: http://patentdb.su/3-898501-sposob-izgotovleniya-t...

Просмотров: 2571   
Пауєрлифтинг схемі тренировок онлайн
Магниторезонансная терапия простаты